无油螺杆真空泵也被称为螺杆真空泵或干式真空泵，是一种具有广阔应用前景和巨大市场潜力的真空设备。

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这种泵的工作原理是，通过两根螺旋转子在泵壳中作同步高速反向旋转，利用高速挤压气体来产生吸气和排气作用。
无油螺杆真空泵的优点包括：
无需润滑油，因此不会产生油污染，特别适用于对清洁真空要求较高的领域，如微电子、半导体、制药和精密机械等。
转子之间有一定的间隙，因此在运转时相互无摩擦，具有低噪音、低能耗、寿命长等特点。
极限真空度高，可以达到10pa，适用于化工精馏、光伏覆膜机等高真空工况。
螺杆转子的加工制造精度要求高，因此其成本也相对较高，但这也保证了其工作性能和使用寿命。