​无油螺杆真空泵是一种利用一对螺杆在泵壳中作同步高速反向旋转而产生的吸气和排气作用来实现抽气的真空泵。两根螺杆的形状通常为阴阳转子，阳转子有凸齿，阴转子有凹齿，它们相互啮合。当螺杆旋转时，气体从进气口进入泵腔，随着螺杆的旋转，气体被封闭在由螺杆与泵壳所围成的空间内，并沿着螺杆的轴向方向向前移动，在排气口排出。由于其内部没有油润滑系统，避免了油对被抽气体的污染，所以称为无油螺杆真空泵。
螺杆转子：是无油螺杆真空泵的核心部件。螺杆转子的型线设计很关键，良好的型线可以保证螺杆之间以及螺杆与泵壳之间的密封性能，提高泵的抽气效率。例如，一些先进的无油螺杆真空泵采用了高精度的不对称螺杆型线，这种型线可以有效减少气体的回流，增强抽气能力。
泵壳：通常采用高强度的金属材料制造，如不锈钢或铝合金。泵壳的内表面需要经过精密加工，以确保与螺杆转子之间的配合精度。它的结构设计要考虑到能够承受内部的压力变化，并且具有良好的散热性能，因为在抽气过程中，气体的压缩会产生热量。
冷却系统：由于无油螺杆真空泵在工作过程中会产生热量，所以需要有效的冷却系统。冷却方式主要有风冷和水冷两种。风冷系统通过安装在泵体外部的风扇，将热量散发到周围空气中；水冷系统则是通过在泵体内部或外部设置冷却水道，利用循环水带走热量。